Tekst Sander Grip
Foto ASML

Wie het over ASML heeft, hoort al snel de opmerking: ASML laat computers en smartphones werken. Het bedrijf, dat lithografiemachines voor fabrikanten van chips en halfgeleiders maakt, kon zo groot worden door continu te blijven investeren in innovatie: ‘Dat is waar deze industrie op draait.’ De start van het bedrijf werd mede mogelijk gemaakt door subsidie van het ministerie van EZ en ook nu nog profiteert het bedrijf van het innovatieklimaat dat EZ neerzet.

ASML-hoofdgebouw in Nederland
Hoofdkantoor en R&D-gebouw ASML in Veldhoven ASML

ASML is in 1984 opgericht als joint venture tussen Philips en Advanced Semiconductor Materials International (ASMI). Philips had de technologie, ontwikkeld in zijn vooraanstaande natuurkundige laboratorium, ASMI had de marketinginfrastructuur om deze aan de man te brengen. Al snel werden de eerste klanten gevonden: IBM en Micron in de VS en TSMC en Samsung in Azië. Deze bedrijven zijn gigantisch succesvol geworden en ASML was in staat om met hen mee te groeien. Peter Wennink, Chief Executive Officer, legt uit hoe constante innovatie het bedrijf helpt succesvol te blijven.

Peter Wennink - President and Chief Executive Office ASML
Peter Wennink, Chief Executive Officer ASML

1. Waar is jullie enorme groei aan te danken?

'Innovatie is een van onze succesfactoren. Wij hebben altijd veel geld uitgegeven aan productinnovatie. Ook als het economisch slecht gaat, investeren wij veel in innovatie. Zo hadden we na de crisisjaren 2008 en 2009, waarin concurrenten flink bezuinigden op R&D, een nieuw product klaar en de concurrentie niet.'

'Tweede succesfactor is dat wij gebruik maken van een geïntegreerde supply chain. Bij ons wordt 85 tot 90 procent van de materiaalkosten gemaakt door de toeleveranciers. Bij hen wordt alles gefreesd, gedraaid en gemaakt. In onze fabriek assembleren we en we verzorgen systeemintegratie, optica en licht- en lasertechnologie. Deze werkwijze maakt ons zeer flexibel en we spreiden de risico’s zo goed mogelijk.'

2. Hoe groot zijn die investeringen?

'In 2014 was ons innovatiebudget ruim € 1 miljard; 80 procent daarvan besteden we in eigen land. Elke euro die in Nederland geïnvesteerd wordt, levert volgens TNO-onderzoek een verhoging van € 2,30 van het bruto binnenlands product op. Als ik naar onszelf kijk: voor elke 8 onderzoekers betalen we € 1 miljoen. Dat levert in totaal 50 tot 70 banen op bij onszelf en bij toeleveranciers en bedrijven als de bloemist, bakker en taxibedrijven in de buurt van onze locaties.'

‘Investeren in 8 onderzoekers levert 50 tot 70 banen op’

'Hiernaast zetten we in op publiek-private samenwerking, wat het ministerie van EZ ook stimuleert. We doen veel onderzoek met universiteiten en kennisinstellingen, waar beide partijen van profiteren. Een recent voorbeeld is het Advanced Research Center Nano Lithografie (ARC NL) in Amsterdam met Amolf, de Amsterdamse universiteiten, de gemeente en wijzelf. In dit onderzoek stoppen we in de komende 10 jaar enkele tientallen miljoenen euro’s.'

3. Wat levert al dat onderzoek jullie op?

'Elke grote fabrikant van halfgeleiders is klant bij ons. Uit marktonderzoek blijkt dat wij 80 procent van de wereldmarkt in handen hebben. Deze positie danken we aan onze constante focus op innovatie. In onze branche geldt Moore’s Law: het aantal transistors van een geïntegreerde schakeling [IC of integrated circuit, red.] verdubbelt elke twee jaar terwijl de kostprijs ongeveer gelijk blijft. Dat lukt alleen door steeds sneller en preciezer te werken. En dat is alleen vol te houden door te blijven innoveren.'

EUV-demo tool
pre-production EUV machine

4. Noem eens een baanbrekende innovatie?

'De machines die wij maken, noemt men steppers. Dat is een grote dia-camera die een plaatje maakt van het elektronisch circuit dat wordt aangebracht op een siliciumschijf, een wafer. Deze wafer is niet in 1 keer volledig te belichten, dus de machine maakt steeds een stapje om alles te belichten. Maar de plaatjes werden zo klein, dat de belichting preciezer te regelen werd met een scan. Met die innovatie, step and scan genoemd, waren wij een van de eersten.'

‘Twinscan geeft enorme voorsprong’

'Vervolgens ontwikkelden we de Twinscan. Voor je een plaatje kunt maken, moet je het oppervlak van de wafer controleren op oneffenheden. Je kunt niet controleren en scannen tegelijk. Dit betekent dat de scan stilstaat terwijl je controleert. Dat is kostbaar tijdverlies. Onze Twinscan controleert nu de ene wafer terwijl hij een andere belicht. Zo werkt de scan continu, waardoor onze machines sneller kunnen werken dan die van concurrenten. Wij zijn nog steeds het enige bedrijf dat deze techniek gebruikt en dat heeft ons een enorme voorsprong gegeven in de markt.'

'Een nog recentere innovatie waarmee we ons leiderschap hebben uitgebreid is immersietechnologie en op dit moment werken we aan het allernieuwste: extreem ultraviolet lichtmachines waarmee we opnieuw de eerste, en voorlopig enige, zijn.'

5. Welke rol speelt EZ bij jullie innovaties?

'Bij onze start is EZ van doorslaggevend belang geweest door ons een Technisch Ontwikkelingskrediet [TOK, een voorloper van het huidige Innovatiekrediet, red.] te verstrekken. Dat krediet was bedoeld om technisch risicovolle projecten van de grond te krijgen. Als je succesvol was, moest je het krediet terugbetalen. Toen wij begonnen, moesten we veel investeren maar waren er nog weinig inkomsten. Het TOK is een belangrijke stimulans voor startende bedrijven geweest.'

‘In onze laboratoria werken 87 nationaliteiten’

‘Nu zijn er de WBSO en Innovatiebox waardoor wij nog steeds gelinkt zijn met het ministerie. In onze ogen zijn dit geen algemene instrumenten die innovatie stimuleren, maar instrumenten die innovatie in Nederland stimuleren. Een belangrijk verschil, want Nederland is niet het meest logische land om R&D voor de halfgeleiderindustrie te huisvesten. Onze klanten zitten immers vrijwel allemaal in de VS en in Azië. Maar de Nederlandse infrastructuur is erg goed en het land is aantrekkelijk voor buitenlandse kenniswerkers. In onze laboratoria werken 87 nationaliteiten. Ik weet niet of we zonder de innovatie-instrumenten van het ministerie van EZ zo’n grote R&D-sectie in Nederland zouden hebben.’

WBSO, RDA en Innovatiebox

Ons land beschikt over een sterk en compleet pakket fiscale maatregelen om R&D bij Nederlandse bedrijven te stimuleren. De WBSO verlaagt R&D-loonkosten en de RDA verlaagt overige kosten en investeringen. Deze regelingen worden dit jaar samengevoegd. De Innovatiebox biedt een speciaal belastingtarief op innovatiewinsten.

Een beginnend bedrijf dat mede door de financiële steun van EZ succesvol wordt, kan op zijn beurt weer andere bedrijven stimuleren. Zo heeft het innovatiebeleid van de overheid effect op meerdere bedrijven en op meerdere momenten.

Meer weten? Bekijk wat EZ doet voor Ondernemersklimaat en innovatie